Project R-1316

Studie naar de relatie tussen watergebaseerde voorloper scheikunde, morfologie en transport eigenschappen van electroceramische metalen films. (Onderzoek)

De doelstelling van dit project die mede het werkschema bepaalt, omvat de ontwikkeling van een watergebaseerde synthesemethode voor de depositie van Ru-gebaseerde oxide elektrodematerialen en een studie van de relatie tussen de morfologische eigenschappen en de elektrische transporteigenschappen van deze materialen. Deze studie moet toelaten de synthese en procescondities te optimaliseren zodat naast nieuwe fundamentele inzichten, elektrodematerialen met geschikte eigenschappen voor toepassingen kunnen resulteren. Aldus geoptimaliseerde elektrodematerialen zullen dan ook in elektronische systemen worden geïmplementeerd : - als alternatieve electrode in een ferroelektrische condensator waardoor een verhoogd aantal ompolingscycli kunnen opgelegd worden, hetgeen de levensduur ten goede komt; - als topelektrode in nieuwe 'gate stacks' met alternatieve ultradunne hoge-K poortdielektrica. Dit NI is vernieuwend in de volgende aspecten: - een nieuwe watergebaseerde depositiemethode voor Ru-oxide dunne lagen zal worden ontwikkeld - de studie van de transporteigenschappen in relatie met morfologie en syntese van metaaloxiden is een nieuw onderzoeksonderwerp binnen het IMO. - een nieuwe samenwerking tussen de betrokken groepen wordt opgezet, waarbij hun belangrijkste expertises (Watergebaseerde synthese/M.K. Van Bael, magnetische en elektrische transporteigenschappen/P. Wagner, morfologische karakterisering/J. D'Haen) gecombineerd worden. - de bestudeerde oxiden zijn kandidaten die kunnen beantwoorden aan de vraag naar nieuwe elektrodematerialen in toekomstige meer perfomante en nanodimensionele elektronische systemen.

01 januari 2008 - 31 december 2013